时光的指针,悄然拨至2011年的金秋九月。,微?趣+小·说·网~ ′免*费_阅/读?
山腹深处的永恒堡垒内,空气仿佛都凝固成了晶体,承载着一种超越重力的期待。
过去一年近乎与世隔绝的精密组装与地狱级难度的调试,终于迎来了最终的审判日。
核心无尘车间内,那台庞然巨物——凝聚了无数智慧、汗水、心血与国运的极紫外(EUV)光刻机,正静静地矗立在特制的超低振动基座上。
它线条冷峻,结构复杂如星辰图谱,周身散发着精密仪器特有的、令人屏息的威严感。无数的传感器如同神经网络,将它的“生命体征”实时传递到监控中心。
李漫漫站在主控台前,身姿挺拔如松,唯有微微抿紧的唇线和过于明亮的眼神,泄露着内心的波澜。
她的指尖悬停在启动键上方,那枚按键光滑冰凉,却仿佛有千钧之重。
在她身后半步,周谨言、罗森、何祁安等人屏息凝神,目光紧紧锁定着中央巨大的监控屏幕和那枚决定命运的按键。
“系统自检通过。”
“真空度稳定在10^-9 Pa级。”
“环境振动监测:符合皮米级操作标准。”
“EUV光源输出稳定,波长纯度达标。?优\品?小?说.网- ,已?发′布?最-新¨章^节.”
“工件台定位精度:重复性亚皮米级……”
一连串冰冷而精准的汇报声通过通讯系统响起,每一声都敲击在众人的心弦上。所有的前期准备、所有的模拟验证、所有的子系统测试,数据都完美得无可挑剔。
李漫漫深吸一口气,山腹深处洁净到极致的空气涌入肺腑。
她的目光扫过屏幕上最后跳出的“ALL SYSTEMS GO”绿色字符,指尖沉稳而坚定地落下。
“启动。”
指令发出,如同按下了开启神国之门的密钥。
巨大的机器内部,精密到匪夷所思的齿轮开始无声咬合。
高能激光精准激发锡滴等离子体,产生波长仅13.5纳米的极紫外光。
复杂的光路系统如同最精密的导引,将这股毁灭性的能量塑形、纯化、投射。真空腔体内,承载着特殊光刻胶的硅晶圆在纳米级精度的工件台上高速移动、定位。
掩膜版上微缩了数十亿晶体管的图案,在EUV光的“雕刻”下,以原子级的精度,被一丝不苟地“复印”到硅晶圆表面。
整个曝光过程在监控屏幕上只是一连串飞速跳动的数据和流畅的动画示意,但在场所有人都知道,此刻在微观世界里,正进行着一场人类操控物质极限的、惊心动魄的“光之舞蹈”。?g`o?u\g!o¨u/k.a·n?s¨h?u~.`c_o?m^
数小时后,第一批经过曝光、显影、刻蚀等后续工艺处理的硅晶圆被小心翼翼地取出,送入基地内配套的顶级电子显微镜和电学测试设备。
等待结果的时间,每一秒都被无限拉长。监控室内落针可闻,只有设备运转的微弱嗡鸣和众人压抑的呼吸声。
终于!
“报告!” 负责电性测试的工程师声音带着无法抑制的颤抖,几乎是吼出来的,“7纳米节点!晶体管栅极长度实测值:4.92 ± 0.08 纳米!关键尺寸均匀性、电学性能参数……全部符合设计预期!良率……良率初步统计超过85%!”
“轰——!”
短暂的死寂后,巨大的、几乎要将厚重防护顶棚掀翻的欢呼声和掌声猛然爆发!
压抑了太久太久的狂喜如同火山喷发!罗森激动地一把抱住了旁边的何祁安,两人又叫又跳。
周谨言猛地摘下眼镜,用力擦拭着眼角。宋教授更是老泪纵横,嘴唇哆嗦着,反复念叨着:“成了……真的成了……我们自己的……”
李漫漫站在原地,身体几不可察地晃了一下。
成功了!
不仅仅是一台光刻机的成功组装和运行。
更是7纳米制程芯片的成功流片与验证!
这枚指甲盖大小的芯片上,集成了超过百亿个晶体管,其复杂度和性能,标志着人类半导体制造工艺攀登上了前所未有的巅峰!
意义,震古烁今。
光刻机的完全自主与领先:这台EUV光刻机,从最核心的光源、光学系统、精密工件台、控制系统到所有关键部件,全部实现自主设计、制造、集成!
它的成功运行和产出7nm芯片的实绩,无可辩驳地证明了中